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sp;   与西方竞争对手试图突破现有系统参数（例如从0.55提升至高数值孔径，甚至从0.75提升至超高数值孔径）不同，俄罗斯学派提出改变物理原理。气体团簇光源可以在远低于数十亿美元EUV光刻机的设备上实现。尽管俄罗斯目前缺乏量产型光刻机，但这项技术提供了实现质的飞飞跃—一跳过13.5纳米时代，直接进入6.7纳米时代，并有望过波到软X射线光刻。   

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发布时间：01:16:32